概述
无尘室中不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
无尘室最主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例， 无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。
如表所示，每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。
无尘室分类对比
| 乱流式 | 层流式 | 复合式 |
水平层流式 | 垂直层流式 | 洁净隧道 | 洁净管道 | 局部无尘 |
洁净度 | Class1000~100000 | Class100~1000 | 全区Class 100 | 隧道内Class100 | Class 100 | 最靠近面Class100~1000 |
换气次数 （次/时） | 15~80 | 100~300 | 300~500 | 隧道内500~1000 | 100~300 | 100~300 |
风速（m/s） | 1~3 | 0.45~0.6 | 0.25~0.4 | 0.3~0.5 | 0.25~0.5 | 0.25~0.45 |
正压度（mm wg） | 0.5~1.5 | 1.0~2.0 | 1.5~2.5 | 1.0~2.0 | 1.0~2.5 | 1.0~3.0 |
相关概念:
⑴自净时间：是指无尘室按设计换气次数开始送风到无尘室，室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。1,000级希望不超过20min（分钟，可取15min计算）10,000级希望不超过30min（分钟，可取25min计算）100,000级希望不超过40min（分钟，可取30min计算）
⑵换气次数（按上述自净时间要求设计）1,000级 43.5-55.3次/小时（规范：50次/小时）10,000级 23.8-28.6次/小时（规范：25次/小时）100,000级 14.4-19.2次/小时（规范：15次/小时）
风淋室
风淋室系列产品是一种通用性较强的局部净化设备，安装于洁净室与非洁净室之间。当人与货物要进入洁净区时需经风淋室吹淋，其吹出的洁净空气可去除人与货物所携带的尘埃，能有效的阻断或减少尘源进���洁净区。风淋室/货淋室的前后两道门为电子互锁，又可起到气闸的作用，阻止未净化的空气进入洁净区域。
FFU
FFU可模块化连接使用，使得FFU广泛应用于无尘室、无尘操作台、无尘生产线、组装式无尘室和局部百级等应用场合。FFU设有初、高效两级过滤网。风机从FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出。它为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中，即可提高洁净度级别，降低噪音和振动，也可大大降低造价，安装维护方便，是洁净环境的理想部件。
FFU特点： 1.FFU外形尺寸（mm）：1175*575*320，噪声52~56分贝；2.FFU箱体和高效过滤器采用分体式设计,安装,更换高效更方便； 3.风机采用德国emb直驱式离心风机或者国产铝叶轮离心风机,工作时间长达5万小时以上； 4.并具有节能、计算机集中控制、运行稳定、噪声低、数字化调整等特性； 5.FFU采用独特的风道风速均匀，整个出风面以0.45M/S风速均匀送出。 6.壳体可选用镜面不锈钢、覆铝锌板、冷板静电喷塑制做美观大方； FFU出厂前均按美国联邦标准（209E）用激光粒子计数器逐台扫描检测，确保质量；FFU适用于10~1000级无尘车间，便于整体运行集中控制； FFU适用于半导体、电子、平板显示器和磁盘驱动器的厂家及光学、生物工业及其它对空气中污染有严格控制要求的地方。以独特的优势合理的价格迅速占领市场。 高度低，系统设计时可节省气室空间。轻量化结构设计，可符合各厂家的 Grid 系统安装，更可依 Grid 系统，变更 FFU 结构尺寸设计。内部装置扩散板．风压扩散均匀，出风面风速平均稳定。金属结构顺风道内胆，永不老化．杜绝二次污染产生，表面光滑，风阻低．隔音效果优良。特殊入风口，风道设计，降低压损与噪音的产生。马达效率高，系统消耗电流低，节省能源成本。单相马达，提供三段式调速，可依实际状况调高或降低风速与风量。 1． 风机采用进口高效离心风机，具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、可无级调速等特性，风机质量可靠，工作寿命长达5万小时或以上。 2． 特别适合于组装成超净生产线，可根据工艺需要布置为单台使用，也可将多台串联形成100级流水装配线。 3． 壳体结构选用不锈钢、铝合金、覆铝锌板、冷轧钢板材料制造，重量轻、抗腐蚀、防锈、美观大方。 4． 产品出厂前均按美国联邦标准209E，METOME尘埃粒子计数器逐台扫描检测，确保质量。 温州升旭净化工程有限公司专业承接空气净化工程、手术室净化、GMP车间净化、实验室净化、无菌室净化、食品车间净化、层流手术室净化、厂房净化、药品车间等服务。
[1]
构成
无尘室的构成是由下列各项系统所组成（在所组成的系统分子中是缺一不可的），否则将无法构成一完整且品质良好的无尘室：
⑴天花板系统
包括吊杆（Ceiling rod）、纲梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或Ceilingframe）。
⑵空调系统
包括空气舱、过滤器系统、风车等。
⑶隔墙板（Partitional wall)
包括窗户、门。
⑷地板
包括高架地板或防静电地板、以及环氧自流平及滚涂地面。
⑸照明器具
包括日光灯、黄色灯管等。
⑹无尘室之建筑主体构造
一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下之条件：
A.不会因温度变化与振动而发生裂痕；
B.不易产生微尘粒子，且很难附着粒子；
C.吸湿性小；
D.为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高；
用途分类
⑴、工业无尘室
——以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）LCD（
液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
⑵、生物无尘室
主要控制有生命微粒（细菌）与无生命微粒（尘埃）对工作对象的污染。又可分为；
A、 一般生物无尘室，主要控制微生物（细菌）对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保证正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业无尘室。例：制药工业、医院（手术室、无菌病房）食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。
B、 生物学安全无尘室：主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。例：细菌学、生物学、洁净实验室、物物工程（重组基因、疫苗制备）
污染源
1、发尘量
无尘室内的发尘量，来自设备的可考虑通过局部排风排除，不流入室内；产品，材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比，一般极小，可忽略；由于金属半壁（彩钢夹心板）的应用来自建筑表面的发尘也很少，一般占10%以下，发尘主要来自人，占90%左右。在人的发尘量上，由于服装材料和样式的改进，发尘绝对量也不断减少。
A、材质：棉质发尘量最大，以下依次为棉、的确良、去静电纯涤纶、尼龙。
B、样式：大挂式发尘量最大，上下分装型次之，全罩型最少；
C、活动：动作时的发尘量一般达到静止时间3-7倍；
D、清洗：用溶剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一。
室内维护结构表面发尘量，以地面为准，大约相应8平方米地面时的表面发尘量与一个静止的人的发尘量相当。
2、发菌量
工作人员产生的污染
1）皮肤：人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换，人类每分钟脱落约1000片皮肤（平均大小为30*60*3微米）
2）头发：人类的头发（直径约为50~100微米）一直在脱落。
3）口水：包括钠、酶、盐、钾、氯化物及食品微粒。
4）日常衣物：微粒、纤维、硅土、纤维素、各种化学品和细菌。
5）人类静止和坐立每分钟将产生10000个大于0.3微米的微粒。
6）人类在头部和躯干做动作时每分钟将产生1000000个大于0.3微米的微粒。
7）人类以0.9m/s的速度行走时每分钟将产生5000000个大于0.3微米的微粒。
分析国外试验资料可以认为
⑴ 无尘室内当工作人员穿无菌服时：
静止时的发菌量一般为10-300个/min.人
躯体一般活动时的发菌量为 150-1000个/min.人
快步行走时的发菌量为 900-2500个/min.人
⑵ 咳嗽一次一般为 70~700个/ min.人
喷嚏一次一般为 4000~62000个/ min.人
⑶ 穿平常衣服时发菌量 3300~62000个/ min.人
⑷ 无口罩发菌量：有口罩发菌量 1:7~1:14
⑸ 发菌量：发尘量 1:500~1:1000 据国内事例：
⑹ 手术中人员发菌量 878个/ min.人
所以，可知无尘室内无菌衣人员的静态发菌量一般不超过300个/ min.人，动态发菌量一般不超过1000个/ min/人，以此作为计算依据是可行的。
如何防止微粒子污染
在电子元件制品的制造过程中，微粒子污染对成品率有重大影响，故应在过程中严格控制微粒子的数量，遵守“不携入、不发生、不储备、除去”四项基本原则以防止微粒子污染。
无尘室内的浮游微粒子浓度，使用高性能的过滤器即可容易达到零水平，实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等，在制造品周边扬起了少许的微粒子，因而造成了元件清洁面的粒子污染。
无尘室内该如何防止微粒子污染呢？应遵守下列四项基本原则：
1）不携入
在无尘室内不携入微粒子的方法有：
作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理；
进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。
通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘室。
机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。
无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。
2）不发生
在控制最大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时，也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到最小限度应采取以下对策：
减少接触剥离发尘的动作形态；
采用磨耗发尘小的材质；
采用发尘小的润滑油；
机台应用空压浮上的非接触化工作原理。
3）不储备
若能彻底实施“不携入”技术，无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的危险性。
在最高等级的无尘室中从天花板到地面，完全除去微粒子的空气须在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流动。这是在约10秒内将室内空气和完全过滤空气完全交换所计算出来的数值。同时，空气的流向也必须要有精确的控制才行。特别要保证气流的流通路径畅通无阻，因为在流通路径中有障碍物的话，容易产生空气空气涡流而形成空气的滞留区域，使得附近已发生的微粒子无法快速排除而长时间漂流在无尘室内，而一部分会附着在周边机器设备的表面而引起污染。
控制气流可防止微粒子累积，但对于带电表面的微粒累积就无法防止。为了防止由静电吸附而引起的微粒附着，通常在无尘室内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。而对于制造品本身的带电，则采用带电程度很少的搬送形态及接触部品材料，并藉由除电装置进行除电。
4）排除/除去
在无法避免大量微粒子发生的机台中，为了不让无尘室内产生微粒子，因此直接做对外排气的动作，即所谓的局部排气。针对排气的对策如下：由于导入同量的外气是必要的，但会伴随大量的能源消耗。所以无法说是绝对理想的对策。因此尽可能地在压缩排气量的同时，不仅仅是向无尘室外排气，负离子检测仪而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。
[3]洁净标准
（GB50073-2001）
空气洁净度等级（N） | 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子） |
0.1 um | 0.2 um | 0.3 um | 0.5um | 1um | 5 um |
ISO Class 1 | 10 | 2 | | | | |
ISO Class 2 | 100 | 24 | 10 | 4 |
ISO Class 3 | 1 000 | 237 | 102 | 35 | 8 |
ISO Class 4 | 10 000 | 2 370 | 1 020 | 352 | 83 |
ISO Class 5 | 100 000 | 23 700 | 10 200 | 3 520 | 832 | 29 |
ISO Class 6 | 1 000 000 | 237 000 | 102 000 | 35 200 | 8 320 | 293 |
ISO Class 7 | | 352 000 | 83 200 | 2 930 |
ISO Class 8 | | 3 520 000 | 832 000 | 29 300 |
ISO Class 9 | | 35 200 000 | 8 320 000 | 293 000 |
注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。 |